ウエハフラックス 洗浄装置 JSシリーズ

『スピンジェット』とは、外周のみを保持されたままでスピン状態にあるウェ－ハのバンプ面（及び裏面）に向かって、洗浄液・リンス液をジェット状態にしてぶつけ、ウェーハ上のフラックスやマイクロはんだボール・増粘系活性剤などの添加剤を短時間で確実に除去する洗浄方式となります。

液中ジェットの場合、どうしてもウェーハ上に境界層が発生してしまいΦ0.12mm程しかないボールやマイクロはんだボールは液のよどみの中に入ってしまいます。そうなった場合、ジェット圧力を大きくしてもウェーハ表面に物理力が加わり難いため、フラックス中の不溶性分やマイクロはんだボールは除去することが出きません。また、ウェハーを液中より引き上げる際に異物等の再付着の恐れがあります。

スピンするウェーハ表面に直角にジェットをぶつけるため、ジェットの物理力を剥離力として不溶性分やマイクロはんだボールに直接加えることが出きます。 ジェットの力で境界層を破壊しながら揺動するため、ボールの周りに力が均等に加わり洗浄残りが発生しません。また液は常にフィルタリングによる再生された液を使用するので、異物等の再付着の恐れがありません。