半導体製造装置部品 修理・再生

製品一覧

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  RPS（リモートプラズマソース）修理

  リックスでは、半導体製造で使われるRPS（リモートプラズマソース）の修理再生を行っています。最短1週間の短納期、国内対応、保証期間も長くご安心いただけます。

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  ジャケットヒーター修理

  リックスでは、半導体製造で使われる「ジャケットヒーター」の修理・復元・再生を行っております。