【半導体業界向け】CMP装置用 ロータリージョイント
ロータリージョイント（回転継手）
3ポート EMFシリーズ
用途
- エアーバッグ内加圧用のエアー供給
- エアーバッグ内脱圧用の真空供給
- 主にCMP装置用
特徴
- 複数の流体を同時に流せるマルチポートタイプ(3ポート）
- 無潤滑摺動ドライ運転
- メカニカルシール構造
仕様
| 最高回転数 | 150min-1 |
| 圧力 | -0.1MPa～0.1MPa |
| 流体 | 真空・エアー |
| 材質 |
SUS他 |
| 外径 (※) |
φ68mm |
| 全長 |
L182.5mm |
| 取付方法 |
フランジ |
(※)回り止め部分は含まれていません。
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
3ポート MFシリーズ
用途
- エアーバッグ内加圧用のエアー供給
- エアーバッグ内脱圧用の真空供給
- 主にCMP装置用
特徴
- 複数の流体を同時に流せるマルチポートタイプ(3ポート）
- 無潤滑摺動ドライ運転が可能
- パッキンシール構造
-
半導体製造装置内部への組み込みに適した、省スペース・コンパクト設計
仕様
| 最高回転数 | 50min-1 |
| 圧力 | -0.1MPa ～ 0.3MPa |
| 流体 | 真空・エアー |
| 材質 |
SUS他 |
| 外径 |
φ79mm（フランジ部） φ54mm（ボディ部） |
| 全長 |
L82mm |
| 取付方法 |
フランジ |
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
マルチポート ＭFESシリーズ
用途
- ウエハ加圧用のエアー供給
- ウエハの真空チャック（吸着）
- 真空破壊用のエアー供給
- 回転テーブルヘの冷却水供給
- 純水、薬液、スラリーの供給
特徴
- 複数の流体を同時に流せるマルチポートタイプ
- 通過流体中への金属イオンの溶出を配慮し、内部接液部には非金属材料を使用
- 内部接液部には耐薬品性に優れた材料を使用
- 耐摩耗性に優れたメカニカルシールを採用
- 最大8ポートまで実績あり
仕様
| 最高回転数 | 300min-1 |
| 圧力 | -0.1MPa ～ 1MPa |
| 流体 | エアー・真空・純水・薬液・スラリー等 |
| 材質 |
PTFE・SUS他 |
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
下記リンクより、業界別にロータリージョイント(回転継手)の製品一覧をご覧いただけます。
ロータリージョイント（回転継手）
