製品情報PRODUCTS
クリアランスシールタイプ MFC型 （真空チャック対応）
ロータリージョイント（回転継手）
コンセプト
クリアランスシールタイプMFC型は、非接触シールで摩擦によるシール寿命がなく、低発熱かつ低発塵のロータリージョイントです。
枚葉式洗浄時などの半導体ウェハーの真空チャック にご使用頂けます。詳細はお問合せ下さい。
対応業界 (実績)
- 電子半導体
- タイヤ＆ゴム
- 鉄鋼
- 食品
- プラスチック
- 太陽＆燃料電池
- 化学
- 風力発電
特徴
- 低発熱＆低発塵
- 摩耗によるシール寿命がない
流体
- 真空及びエアー
- 作動油
使用条件
| 圧力 (MPa) | 回転数 (min-1) | |
| 真空及びエアー | -100kPa～0.5MPa | ～3,000 |
| 作動油 | ～21MPa |
～1,000 |
※本製品はオーダーメード品となります。
仕様に関しましては、別途御相談下さい。
ロータリージョイント（回転継手）
