【半導体業界向け】純水・薬液・スラリー用 シングルポート ロータリージョイント
ロータリージョイント（回転継手）
用途
- ウエハ加圧用のエアー供給
- ウエハの真空チャック（吸着）
- 真空破壊用のエアー供給
- 回転テーブルヘの冷却水供給
- 純水、薬液、スラリーの供給
※仕様により、注水が必要となる場合があります
特徴
- 通過流体中への金属イオンの溶出を配慮し、内部接液部には非金属 材料を使用
- 内部接液部には耐薬品性に優れた材料を使用
- 耐摩耗性に優れたメカニカルシールの採用により、エアー、真空、 純水、スラリーにも使用可能
仕様
| 最高回転数 | 600min-1 |
| 圧力 | -0.1MPa ～ 1MPa |
| 流体 | エアー・真空・純水・薬液・スラリー等 |
| 材質 |
ボディ：PTFE・SUS シール：SiC 接液部：PTFE他 |
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
ロータリージョイント（回転継手）
