製品情報PRODUCTS
半導体業界向け
ロータリージョイント（回転継手）
シングルポート L40 シリーズ
純水＆薬液供給用
■コンセプト
・このロータリージョイントは半導体業界用に開発され、純水・薬液供給用で主回路には非金属材料を使用し、液体中への金属イオンの溶出を極力低減するロータリージョイントです。
■特徴
・主流路には非金属材料を使用し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減。
■流体
・純水、薬液 等 （別途御相談下さい）
■使用条件
| 圧力 (MPa) | 回転数 (min-1) | ポート数 | |
| L40 | 1 | 600 | 1 |
マルチポート MFES シリーズ
CMP&グラインダー用
■コンセプト
・このロータリージョイントも半導体業界用に開発され、接液部に非金属材料の 使用やコーティングを施し、液体中への金属イオンの溶出を極力おさえる構造も可能なロータリージョイントです。
■特徴
・接液部に非金属材料の使用やコーティングを施し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減する構造も可能。
■流体
・純水、エアー、真空、スラリー 等 （別途御相談下さい）
■使用条件
| 圧力 (MPa) | 回転数 (min-1) | ポート数 | |
| MFES | 1 | 200 | 2～ |
※半導体業界向けロータリージョイントはオーダーメード品となります。
仕様に関しましては、別途御相談下さい。
ロータリージョイント（回転継手）
