【半導体業界向け】純水・薬液・スラリー用 シングルポート ロータリージョイント
ロータリージョイント（回転継手）
用途
- ウエハ加圧用のエアー供給
- ウエハの真空チャック（吸着）
- 真空破壊用のエアー供給
- 回転テーブルヘの冷却水供給
- 純水、薬液、スラリーの供給
※仕様により、注水が必要となる場合があります
特徴
- 通過流体中への金属イオンの溶出を配慮し、内部接液部には非金属材料を使用
- 内部接液部には耐薬品性に優れた材料を使用
- 耐摩耗性に優れたメカニカルシールの採用により、エアー、真空、純水、スラリーにも使用可能
- 半導体製造装置内部への搭載を想定したコンパクト構造
仕様
ロータリージョイント（回転継手）
