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マイクロアイスジェット生産設備仕様、試験用簡易仕様
精密洗浄ノズル
WEB(テレビ会議)での製品説明・仕様打合せも行っております。お気軽にご相談下さい。
ミクロンレベルの異物除去が洗浄で可能。フラットな異質も除去可能。
動画
洗浄例
洗浄対象とする領域
洗浄方式の比較
- 微細な洗浄、特に凹凸面の洗浄に威力を発揮します。
- ドライアイスブラスト洗浄の代わりに使用可能です。
- CO2を使用しないので環境負荷が少なくて済みます。
| マイクロアイスジェット | CO2ジェット | 2流体ノズル | ドライアイスブラスト | |
| 粒子材質 | 過冷却液滴＆凍結粒子 (液体・固体） |
CO2 凍結粒子 （固定） |
水 （液体） |
ドライアイスペレット （固体） |
| 粒子速度 | 400~450m/sec | 300~400m/sec | 50~100m/sec | 200m/sec前後 |
| 粒子径 | D32＝10μｍ | 5~50μm | 10~20μm | 300μm~(噴射時) |
| 微細洗浄 | ◎ | ◎ | ○ | × |
| 凹凸面除去 | ◎ | × | × | × |
| ブラスト力 | △ | △ | × | ◎ |
| ランニングコスト | ○ | × | ○ | × |
| 環境負荷 | ◎ | × | ◎ | × |
| 主な適用先 | ・ウエハのシリコンカス ・ウエハのポリマー除去 ・BG、ポリッシュ洗浄 ・積層基板の切断バリ |
・ウエハ洗浄 | ・ウエハ洗浄 ・液晶パネルの洗浄 |
・塗装の剥離 ・汚泥などの除去 |
原理
マイクロアイスジェットの原理
圧縮エアはスロート部で音速に達し、拡張部で超音速に加速する際に断熱拡張し、温度が低下する。
供給された水滴は、1.加速 2.冷却されて、微小な氷粒子と過冷却液滴となって超音速で噴射。
マイクロアイスジェットの特長
- エアと水だけで微細な氷粒子を形成 （製氷器や窒素ガスなどは不要）
- 氷粒子の大きさが安定しており、氷の詰まりがない
- 洗浄対象の表面を傷つけずに異物だけを除去
氷の状態と洗浄対象
| 硬い氷 | 柔らかい氷 | |
| 洗浄原理 | 硬い氷が衝突することで、 洗浄対象物を掘り下げて除去する |
表面にシャーベット状の氷塊が生成され、 異物を取り込んで吹き飛ばす |
| 水供給量 | 数 mL/min （少ない） | 数十 mL/min （多い） |
| 洗浄対象例 | ・マジックインキの剥離 ・一部レジストの剥離 |
・ヒゲバリなどの除去 ・弱い力で付着しているコンタミ |
| 洗浄写真 |
マジックコートの除去 |
ウエハの洗浄 |
境界層よりも小さな異物の除去が可能
噴射装置
噴射制御ユニット（生産設備仕様）
仕様概要
◆噴射ノズル
| 外形寸法 | Φ26＋□40 |
| 長 さ | 250mm |
| 重 量 | 1kg |
※スポット径 約3mm
◆制御BOX（生産設備仕様）
| 外形寸法 | 280W×420D×460H |
| 管理対象 (警報有り) |
エア温度・エア圧力 水温度・水流量・水圧力 |
| 電 源 | AC100Vブレーカ容量2A |
| 重 量 | 22kg |
| 外部とのI/O | リモート操作可能 警報出力有り |
※レンタルも可能です。
噴射制御ユニット（試験用簡易仕様）
仕様概要
警報、ポンプ、装置側とのＩ／Ｏが無いので、生産設備には使用できませんが、試験用途に御使用できます。ポンプが無いので、給水ラインが必要です。ノズル部は同じです。
◆噴射ノズル
| 外形寸法 | Φ26＋□40 |
| 長 さ | 250mm |
| 重 量 | 1kg |
※スポット径 約3mm
◆制御BOX（試験用簡易仕様）
| 外形寸法 | 222W×230D×228H |
| 管理対象 (警報無し) |
エア温度・エア圧力 水温度・水流量 |
| 電 源 | 電源無し |
| 重 量 | 5kg |
| 外部とのI/O | I/Oなし |
※レンタルも可能です。
ミクロンオーダーの微細異物除去
精密洗浄ノズル
