【開発品】ドライアイススマートジェット（ドライアイス洗浄）

より高度で品質の良い半導体のニーズが高まる中、「中工程」「後工程」向けの洗浄に特化した新しいドライアイス洗浄システムが「ドライアイススマートジェット」です。



現在のドライアイス洗浄は「ドライアイススノー洗浄」や「ドライアイスペレット洗浄」が主流ですが、それぞれ、高コスト・洗浄過多（洗浄力が強すぎる）・洗浄不足（洗浄力が弱い）など課題感がありました。

当社が開発した「ドライアイススマートジェット」は半導体製造の中工程・後工程向けの洗浄に特化しており、ドライアイススノー洗浄では取り切れなかった汚れも綺麗に洗浄できるうえ、ドライアイスペレット洗浄で発生していたダメージ痕を与えることもありません。さらには、２つの洗浄方式と比べて低コストで導入が可能です。

ドライアイススマートジェットは「物理的作用による洗浄」と「化学的作用による洗浄」を組合わせることで有機物も剥離するなど高い洗浄力を発揮します。従来のドライアイス洗浄と異なるのは「粒子径20μｍ以下の硬質ドライアイスによる秒速400m以上の超音速噴射」です。特許取得済（特許第7447345号）の特殊な生成管と、超音速２流体噴射ノズルにより、この新しいドライアイス洗浄方式を実現しました。

ドライアイス洗浄・ドライアイススマートジェット(DSJ)粒子径と噴射速度

ドライアイス洗浄・ドライアイススマートジェットの液化二酸化炭素(CO2)とエア消費量

Q1：半導体洗浄用途のほか、どのような業界で使えますか？
A1：食品機械・化粧品機械・電子部品・レンズなど、「濡れない洗浄」が求められる業界が対象になります。

Q2：ドライアイスの噴出量を一定かつ量を増やすことは可能ですか？
A2：噴射ノズルが固定オリフィスのため、気温変化によるボンベ圧力変化で噴射流量も変化しています。一定にするにはボンベの温度管理をする必要があります。また、液化二酸化炭素噴射量を増やすには、現在の対応としてはノズルを複数個設置することでの対応を考えています。

Q3：ドライアイスを発生させる液化二酸化炭素ボンベの供給は？
A3：現在、リックスでご用意できる体制を進めております。

Q4：噴出ノズルはより長い(700mm程度)ものも可能ですか？
A4：対応は可能です。レンタルノズルは、長いものと短いものを含め準備中です。

Q5：ドライアイススマートジェットを使用する上で注意することはありますか？
A5：噴射ノズルは高圧ガス保安法適応外の製品です。また、貯蔵規制は3トン（30kgボンベ100本）以下となっています。厚生労働省・建築物衛生法において、二酸化炭素濃度は1,000ppm以下に管理しなければならないとなっています。連続的に噴射する場合は噴射部近傍には排気機構を必ず取り付けてください。

Q6：ホースの長さはどこまで伸ばせるか、また高温でも問題ありませんか？
A6：高温環境で外部から熱が加われば、そこで膨張しガスが増えますので噴射が間欠状態で不安定となります。よって、断熱カバーなどで液化二酸化炭素の温度上昇を防がなくてはなりません。使用する流量が100~150g／minと非常に少ないためホース長で圧力損出が発生することは無いと考えられます。現在4mのホースを使用しています。

Q7：ボンベの設置環境温度は何度まで大丈夫ですか？
A7：液化二酸化炭素ボンベは40℃を超えると内圧が14MPaとなりボンベ安全弁が作動する場合があります。よって、保管は寝かせず立てた状態で40℃以下で出来るだけ低温とします。液化二酸化炭素噴射時は27℃以下（最高圧6.2MPaほど）で使用をお願いします。